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无规碰撞对光学表面统计特性的影响


论文摘要:用数值方法研究了抛光粒子对光学表面的无规碰撞对光学表面的粗糙度和功率谱密度的影响。结果表明,对于随机起伏的初始表面,经过抛光粒子的无规撞击之后,表面粗糙度先是逐渐减小,随后开始增加。经过撞击的表面,其高度的起伏由原来的完全随机分布变为具有分形的特征,其功率谱密度具有倒指数规律,这与精密抛光表面的测量结果相符,从而解释了精密抛光表面功率谱密度具有倒指数规律原因。


关 键 词:无规碰撞论文,粗糙度论文,功率谱密度论文,抛光论文,数值方法论文


来源期刊:《长春理工大学学报》2005年 第1期


收录数据库: 中文科技期刊数据库




 
 


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